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| 系統編號 | 102NCTU5124159 |
| 作者 | 林峰慶 |
| 論文名稱 | 利用原子層沉積儀成長鋁摻雜氧化鋅磊晶薄膜 |
| 指導老師 | 古慶順,周武清 |
| 學位名稱 | 碩士 |
| 學校名稱 | 國立交通大學 |
| 系所名稱 | 工學院加速器光源科技與應用碩士學位學程 |
| 畢業學年度 | 102 |
| 博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/92200316344265804507 |