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系統編號 102NCTU5686002
作者 黎柏夆
論文名稱 利用氧化鋁/氮化矽保護層製作高功率氮化鋁鎵/氮化鎵蕭基二極體
指導老師 張翼
學位名稱 碩士
學校名稱 國立交通大學
系所名稱 工學院半導體材料與製程設備學程
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/02061780357847898774