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系統編號 102NCKU5614063
作者 童彥翔
論文名稱 利用團鏈共聚物定向自組裝製作無基材穿透式光柵應用於極紫外光干涉式微影
指導老師 林俊宏
學位名稱 碩士
學校名稱 國立成功大學
系所名稱 光電科學與工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/31413239631262826254