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| 系統編號 | 102NTU05159027 |
| 作者 | 黃芝傑 |
| 論文名稱 | 利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究 |
| 指導老師 | 陳敏璋 |
| 學位名稱 | 博士 |
| 學校名稱 | 臺灣大學 |
| 系所名稱 | 材料科學與工程學研究所 |
| 畢業學年度 | 102 |
| 博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/30988670181450051689 |