1. data.gov.tw
  2. 臺灣博碩士論文系統
  3. 59554415
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系統編號 102NTUS5146014
作者 吳韋辰
論文名稱 投影式微影之光源模態最佳化研究
指導老師 郭鴻飛
學位名稱 碩士
學校名稱 國立臺灣科技大學
系所名稱 自動化及控制研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/44370488320362295839