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| 系統編號 | 102NCTU5686012 |
| 作者 | 林仲凱 |
| 論文名稱 | 改善氮化鈦阻障層與鎢插塞之化學氣相沉積製程 以降低其電阻率之研究 |
| 指導老師 | 潘 扶 民 |
| 學位名稱 | 碩士 |
| 學校名稱 | 國立交通大學 |
| 系所名稱 | 工學院半導體材料與製程設備學程 |
| 畢業學年度 | 102 |
| 博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/03434871810460032557 |