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系統編號 102CHPI5442024
作者 楊盛賢
論文名稱 使用氪氟準分子雷射退火處理氧化鑭鋁/二氧化鋯/氧化銦鎵鋅大氣電漿化學氣相沉積薄膜電晶體之可靠度研究
指導老師 吳建宏
學位名稱 碩士
學校名稱 中華大學
系所名稱 電機工程學系碩士班
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/38060565110232194523