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系統編號 102NTHU5311036
作者 高健銘
論文名稱 奈米結構對輕薄化之矽晶片表面缺陷造成應力集中現象之影響
指導老師 葉孟考
學位名稱 碩士
學校名稱 國立清華大學
系所名稱 動力機械工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/97264334144317508676