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系統編號 102NTHU5063121
作者 潘贈傑
論文名稱 奈米鈀觸媒於矽烷改質之矽晶片上無電鍍鎳沉積之研究
指導老師 衛子健
學位名稱 碩士
學校名稱 國立清華大學
系所名稱 化學工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/33507029624618408671