1. data.gov.tw
  2. 臺灣博碩士論文系統
  3. 59557364
column value
系統編號 102NTUS5489079
作者 陳鈺庭
論文名稱 拋光墊修整磨合期對銅膜晶圓化學機械拋光影響研究
指導老師 陳炤彰
學位名稱 碩士
學校名稱 國立臺灣科技大學
系所名稱 機械工程系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/68523207886100504532