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系統編號 | 102CCU00489081 |
作者 | 楊戩 |
論文名稱 | 直接奈米壓印結合反應式離子蝕刻在金薄膜/PMMA疊層上製作複合光柵 |
指導老師 | 敖仲寧 |
學位名稱 | 碩士 |
學校名稱 | 國立中正大學 |
系所名稱 | 機械工程學系暨研究所 |
畢業學年度 | 102 |
博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/32432746216306275540 |