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系統編號 102KSUT0009007
作者 顏維樞
論文名稱 矽基板上成長氮化鋁薄膜之特性研究
指導老師 劉見成
學位名稱 碩士
學校名稱 崑山科技大學
系所名稱 材料工程研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/43979377354832143836