1. data.gov.tw
  2. 臺灣博碩士論文系統
  3. 59559443
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系統編號 102NCU05651001
作者 王芊茹
論文名稱 非晶矽薄膜製程於電子迴旋共振氣相沉積之電漿診斷研究
指導老師 利定東
學位名稱 碩士
學校名稱 國立中央大學
系所名稱 光機電工程研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/80581968484320251086