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vat 97285827
計畫名稱 推動半導體製程設備暨零組件躍升計畫
廠商名稱 凱樂士股份有限公司
地區別 (15)桃園縣
產業別 19電子零組件製造業
補助項目 針對晶圓SiC承載盤進行開發。
補助內容 開發SiC硬脆材料加工技術及SiC承載盤製作。
補助日期(起)(實際) 2013/1/1
簽約總金額(元) 3080000
簽約金額-廠商自籌款(元) 960000
補助日期(迄)(實際) 2013/11/20
輔導類別 技術輔導