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vat 84776955
計畫名稱 推動半導體製程設備暨零組件躍升計畫
廠商名稱 漢鐘精機股份有限公司
地區別 (15)桃園縣
產業別 22機械設備製造業
補助項目 永磁電機驅動魯氏真空泵浦開發計畫
補助內容 永磁式魯式真空泵浦設計、測試。
補助日期(起)(實際) 2013/1/1
簽約總金額(元) 3760000
簽約金額-廠商自籌款(元) 1170000
補助日期(迄)(實際) 2013/11/20
輔導類別 技術輔導