column value
vat 89338287
組別 金機組
計畫名稱 半導體設備暨零組件產業發展計畫
廠商名稱 高明鐵企業股份有限公司
地區別 彰化縣
產業別 金屬製品製造業
輔導項目 直寫式光罩曝光設備之長行程精密氣靜壓定位平台開發
輔導內容 進行光罩曝光設備中,長行程精密氣靜壓定位平台之開發
輔導日期(起)(實際) 2014/4/1
簽約總金額(元) 3717000
簽約金額-廠商自籌款(元) 1461000
輔導日期(迄)(實際) 2014/10/31
輔導類別 技術輔導