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vat 53395452
計畫名稱 光電及半導體設備產業發展計畫(1/3)
廠商名稱 鈞澤科技有限公司
地區別 (24)彰化縣
產業別 金屬製品製造業
輔導項目 協助申請政府補助,協助業者建立3D IC TSV高深寬比(AR10)金屬鍍膜電沉積模組
輔導內容 建立TSV AR10 Copper filling 製程技術及建置動態流場分布控制系統。
輔導日期(起)(實際) 2015/01/01
簽約總金額(元) 3000000
簽約金額-廠商自籌款(元) 2000000
輔導日期(迄)(實際) 2015/11/20
輔導類別 技術輔導