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vat | 53395452 |
計畫名稱 | 光電及半導體設備產業發展計畫(1/3) |
廠商名稱 | 鈞澤科技有限公司 |
地區別 | (24)彰化縣 |
產業別 | 金屬製品製造業 |
輔導項目 | 協助申請政府補助,協助業者建立3D IC TSV高深寬比(AR10)金屬鍍膜電沉積模組 |
輔導內容 | 建立TSV AR10 Copper filling 製程技術及建置動態流場分布控制系統。 |
輔導日期(起)(實際) | 2015/01/01 |
簽約總金額(元) | 3000000 |
簽約金額-廠商自籌款(元) | 2000000 |
輔導日期(迄)(實際) | 2015/11/20 |
輔導類別 | 技術輔導 |